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PSS晶圓自動(dòng)下片機(jī)FST-SC100P-D

應(yīng)用于PSS段ICP工藝生產(chǎn)后，實(shí)現(xiàn)PSS下片及解螺絲等功能。主要由鋁盤立體倉(cāng)儲(chǔ)、cassette立體倉(cāng)儲(chǔ)、OCR讀取、機(jī)器人自動(dòng)下片、機(jī)器人自動(dòng)解螺絲組成。

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設(shè)備參數(shù)

類別	內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍	1600盤/天
產(chǎn)品良率	≧99.5%
設(shè)備精度	晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.15mm，±0.2度以內(nèi)
設(shè)備尺寸	L3.2mW2.8m*H2.45m

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

使用場(chǎng)景：PSS段ICP工藝生產(chǎn)后。

全自動(dòng)：高度智能信息化系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)盤自動(dòng)上料、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)下片、自動(dòng)拆螺絲、自動(dòng)下盤、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES。

高配置：CCD自動(dòng)檢測(cè)、著名品牌工業(yè)機(jī)器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測(cè)系統(tǒng)。

高精度：晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.15mm，±0.2度以內(nèi)。

人性化：成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù)，增加智能監(jiān)控，智能語(yǔ)音提醒，既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程。

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